編者按：近日，新華通訊社旗下瞭望東方周刊雜志探索中關(guān)村數(shù)個(gè)特色園區(qū)，解碼北京高質(zhì)量發(fā)展的動(dòng)力源。北京爍科中科信作為填補(bǔ)技術(shù)空白的行業(yè)“頂流”之一，受到聚焦。

“引力場”也是“動(dòng)力源”

“拎包入住”的成長環(huán)境加快成果轉(zhuǎn)化企業(yè)聚集，一個(gè)又一個(gè)填補(bǔ)技術(shù)空白的行業(yè)“頂流”扎堆涌現(xiàn)。

“集成電路產(chǎn)業(yè)鏈很長，離子注入是這條產(chǎn)業(yè)鏈前道核心關(guān)鍵裝備。先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)的集成電路芯片，通常需要近30道注入工序，對(duì)設(shè)備的注入能量、劑量、角度、顆粒污染、金屬污染等控制要求嚴(yán)苛，以確保器件電性能、合格率滿足要求。但此前，高端的離子注入機(jī)長期被國外企業(yè)壟斷。”北京爍科中科信電子裝備有限公司總經(jīng)理李進(jìn)說。

瞄準(zhǔn)國內(nèi)技術(shù)空白，解決“卡脖子”技術(shù)難題，成為許多北京科創(chuàng)企業(yè)不約而同的創(chuàng)新目標(biāo)。

通過技術(shù)攻關(guān)，北京爍科中科信將劑量注入精度這一核心技術(shù)指標(biāo)提高到業(yè)界先進(jìn)水平，自主研制中束流、大束流、高能、特種應(yīng)用及第三代半導(dǎo)體等離子注入機(jī)，打造注入機(jī)全譜系發(fā)展新格局，先后榮獲北京市科學(xué)技術(shù)進(jìn)步一等獎(jiǎng)、二等獎(jiǎng)，實(shí)現(xiàn)我國集成電路制造領(lǐng)域全系列離子注入機(jī)自主創(chuàng)新發(fā)展。